شبکه هاي آزمايشگاهي

شبکه هاي آزمايشگاهي->دانشكده مهندسي برق و كامپيوتر->نانو الکترونیک
آزمایشگاه نانوالکترونیک
[Top]

 

1- آزمایشگاه نانوالکترونیک

سرپرست آزمایشگاه: دکتر سید شمس­الدین مهاجرزاده

آدرس: خیابان کارگر شمالی- تقاطع جلال آل احمد- پردیس شماره2

 دانشکده­های فنی- دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر                                                                                                                                                                

آدرس سایت اینترنتی:  www.tfl.ir

ایمیل: smohajer@tfl.ir

تلفن: 88013201

دورنگار: 88011235

زمینه­های پژوهش کلی: بررسی سیستم­ها و قطعات مکانیکی و الکترونیکی در زمینه نانوالکترونیک، رشد و الگودهی نانولوله­های

کربنی و لایه­ برداری عمودی، لایه­نشانی

توضیحات: آزمایشگاه نانوالکترونیک در جهت ارتقاء دانش فنی در زمینه میکرو و نانوالکترونیک و سیستم­های ریزماشینکاری (MEMS) گام برمی­دارد. این آزمایشگاه با بررسی نیازهای صنایع مختلف و با اجرای طرحهای تحقیقاتی و اجرایی توانسته است که بسیاری از پروسه­های ساخت انواع ادوات پیشرفته مانند سنسورهای شتاب- فشار و محرکه­های مینیاتوری را بدست آورد. همچنین ساخت ادوات پیچیده تر مانند ترانزیستورهای اثر میدان (MOSFET) و نمایشگرهای مسطح در مراحل تست­های نهایی و یا بهبود می­باشد.

این آزمایشگاه از پشروان نانوفناوری در کشور است بطوریکه رشد نانولوله­های کربنی بر روی سیلیکان و بصورت عمودی برای اولین بار در این آزمایشگاه انجام شده است.

مشخصات تجهیزات موجود در آزمایشگاه به شرح زیر می­باشد:

لایه­نشانی با اشعه الکترونی

مدل و شرکت سازنده: VEECO VE-747

سیستم تبخیر به کمک باریکه  الکترونی از خانواده سیستم­های لایه نشانی بخار فیزیکی (PVD) است. سیستم موجود، دارای کریستال ضخامت سنج با دقت یک آنگستروم می­باشد که امکان کنترل دقیق ضخامت لایه‌های نشانده شده را به ما می‌دهد. در حال حاضر اين سیستم معمولاً برای لایه­نشانی فلزاتی مانند نیکل‌، کروم، مس، ژرمانیم و سیلیسيم به کار می‌رود.

لایه­نشانی پراکنش (RF-Sputtering)

مدل و شرکت سازنده: VAS OF-1807

سیستم لایه‌نشانی پراکنش فیزیکی در بین سیستم‌های لایه‌نشانی بخار فیزیکی (PVD)، هموارترین سطح ممکن را به ما می دهد . در حال حاضر این دستگاه برای لایه‌نشانی فلزاتی مانند کروم، طلا، نیکل، تنگستن، مولیبدن، مس، مواد نیمه­هادی، ZnO، ITO وAl2O3  به کار می‌رود.

میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی (FE-SEM)

مدل و شرکت سازنده: Hitachi S4160 (Cold Field Emission)

ميكروسكوپ الكتروني روبشي گسيل ميداني مي‌تواند با بزرگ‌نمايي 300000 از اجسام ريز تصاوير با دقت فوق العاده بالا بگيرد. كوچكترين طول قابل اندازه‌گيري 2/5 نانومتر در توان 30 كيلووات مي‌باشد. (این نمونه دستگاه تنها دستگاهی است که در ایران وجود دارد)

مشخصه­یابی الکترونی

 مدل و شرکت سازنده: Keithley K361

این دستگاه قابلیت تعیین پارامترهای الکتریکی ادوات ساخته شده را دارا مي‌باشد و به کمک آن می‌توان نمودار‌های خازن بر حسب ولتاژ (C-V) و جریان بر حسب ولتاژ (I-V) را با دقت بالا به‌ دست آورد.

لایه­برداری پلاسمایی (RIE)

مدل و شرکت سازنده: Anatech MP-600 Planar

اين دستگاه براي زدايش سيليسيم  به صورت كنترل شده به كار مي‌رود. امكان ايجاد ديواره‌هاي عمودي و مايل و نيز كنترل under-etching به كمك اين دستگاه وجود دارد.

لایه­نشانی بخار شیمیایی پلاسمای جریان مستقیم (DC-PECVD)

مدل و شرکت سازنده: SensIran PE-802

این دستگاه برای رشد نانولوله‌هاي كربني و هيدروژن‌دهي استفاده مي‌شود.

لایه­نشانی بخار شیمیایی فشار پایین (LPCVD)

مدل و شرکت سازنده: SensIran LP-130

اين دستگاه براي لايه‌نشاني Si، SiON ‍‍و Si3N4 در فشار‌هاي پايين استفاده مي‌شود. امكان لايه‌نشاني سيليسيم به صورت بي‌شكل و چند‌بلوري به كمك اين سيستم وجود دارد.

دستگاه کاهش و تکرار

قابلیت ایجاد نقابهای دقیق و کوچک با دقت میکرو

لایه­نشانی تبخیر حرارتی

سیستم لایه‌نشانی تبخیر در خلاء یکی از متداولترین روشهای لایه­نشانی بخار فیزیکی (PVD) است که برای لایه‌نشانی لایه‌های نازک مواد مختلف به کار می­رود.

دستگاه موجود در آزمایشگاه برای لایه‌نشانی آلومینیم (که امکان لایه­نشانی با سیستم تبخیر با باريكه الکترونی را ندارد) و همچنين  ژرمانیم، مس، نقره و طلا به کار می‌رود.

Bonder

مدل و شرکت سازنده: WestBond 2400

با اين دستگاه مي‌توان اتصالات نازك سيم طلا 25 و 50 ميكرون را بين دو نقطه از يك مدار برقرار كرد.

دستگاه برش ویفر (Dicer)

مدل و شرکت سازنده: DAD-2H/6T

برش ويفر با اين دستگاه با دقت فوق‌العاده بالا انجام مي‌شود.

ضخامت سنج سوزنی

مدل و شرکت سازنده: VEECO DekTak3

اين دستگاه یک سیستم تعیین مشخصه‌ سطح است که می‌تواند نمایه‌های عمودی روی سطح (Surface Vertical Profiles) را تحلیل کند. دقت اندازه‌گیری دستگاه 10 نانومتر در طول افقی 50 میکرون تا 2 میلی‌متر است. حداکثر ارتفاع پله‌ قابل اندازه گیری توسط این دستگاه  هم 65/5 میکرون است.

لایه نشانی بخار شیمیایی پلاسمایی رادیویی (RF-PECVD)

مدل و شرکت سازنده: Uniaxis 790 Series

دستگاه لایه‌نشانی بخار شیمیایی پلاسماي جریان متناوب برای لایه‌نشانی موادي نظير Si،SiO2 ‍‍و Si3N4 به كمك واکنشهای شیمیایی و هيدروژن‌دهي به کار می‌رود.

دستگاههای در حال خرید

v     میکروسکوپ نیروی اتمی (AFM)

v     میکروسکوپ عبوری دقت بالا


 


 

 



University Of Tehran©1935-2008 - All Rights Reserved